Thiết bị đo và điều khiển lưu lượng - GF80 Brooks instrument

Mô tả:

Đại lý Brooks instrument Việt nam

Chia sẻ:

Số lượng

Thiết bị đo và điều khiển lưu lượng GF80 Brooks instrument

GF80 Brooks instrument Việt Nam

Brooks instrument Việt Nam

GF80 Series Metal Sealed Thermal Mass Flow Controllers & Meters Việt Nam

Tính năng, đặc điểm

Độ ổn định dài hạn bằng 0 <0,5% toàn thang mỗi năm
<1 giây thời gian giải quyết
Tốc độ dòng chảy quy mô lên đến 300 slpm
Đường dẫn con dấu hoàn toàn bằng kim loại - Hoàn thiện bề mặt Ra 16 inch
Cảm biến Hastelloy® chống ăn mòn có thể hoạt động ở nhiệt độ thấp hơn đối với các khí dễ bị phân hủy nhiệt
Khả năng lập trình MultiFlo ^{TM có thể} lập trình Một thiết bị, hàng ngàn loại khí và kết hợp phạm vi mà không loại bỏ MFC khỏi dòng khí hoặc ảnh hưởng đến độ chính xác
Đặc điểm kỹ thuật hệ số nhiệt độ tốt nhất trong lớp thông qua bù nhiệt độ hoạt động
Các thói quen tự kiểm tra nhúng và cổng chẩn đoán / dịch vụ độc lập
Thân máy mỏng với phụ kiện VCR
DeviceNet ^TM , Profibus®, RS-485 và các giao diện tương tự

Lợi ích

Thời gian xử lý dòng chảy nhanh <1 giây giúp loại bỏ khí thải và quá trình biến đổi
Không có con dấu đàn hồi có thể có sự thẩm thấu oxy, đòi hỏi phải thay thế theo thời gian
MultiFlo ^TM đơn giản hóa và hợp lý hóa việc thay đổi khí trong quá trình - không còn loại bỏ và hiệu chỉnh MFC
Khí và / hoặc phạm vi mới có thể được đặt trong dưới 60 giây
Độ chính xác đo không bị ảnh hưởng bởi các biến đổi nhiệt độ
Truy cập thuận tiện vào cổng chẩn đoán cho thời gian hoạt động tối đa
Kích thước nhỏ gọn giúp tích hợp vào không gian máy chặt chẽ; sự lựa chọn tuyệt vời cho trang bị thêm
Giao diện truyền thông đa giao thức đơn giản hóa việc tích hợp vào các hệ thống hiện có

Các ứng dụng

Nâng cấp / nâng cấp hiệu quả các MFC kế thừa trong các công cụ xử lý chất bán dẫn được tân trang lại
Giảm hàng tồn kho MFC trong fabs bán dẫn sáu inch / tám inch
MOCVD cho sản xuất đèn LED và thiết bị điện
Hệ thống lắng đọng hơi hóa học / màng mỏng (CVD)
Thiết bị phân tích OEM

GF80
Khác biệt	Độ tinh khiết cao Tốc độ dòng chảy thấp
Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn thang)	3 sccm - 55 slm
Bề mặt hoàn thiện	16 inch inch Ra
Độ chính xác	± 1% SP 35-100% ± 0,35% FS 2-35%
Lặp lại	<± 0,2% SP
Thời gian đáp ứng	Van thường đóng <1 giây
Cấu hình đa khí & phạm vi	Có sẵn MultiFlo ™
Không nhạy cảm thoáng qua áp lực	-
Khả năng chẩn đoán	Đèn trạng thái: Sức khỏe MFC, Trạng thái mạng Báo động: Đầu ra van điều khiển, gián đoạn mạng
Truyền thông tương tự	0-20 mA 4-20 mA 0-5 Vdc 0-10 Vdc
Truyền thông kỹ thuật số	Hồ sơ Giao thức S RS485 Giao thức L RS485 DeviceNet ™