Thiết bị đo và điều khiển lưu lượng- GF120XSD Brooks

Mô tả:

Brooks instrument Việt nam

Chia sẻ:

Số lượng

Chi tiết sản phẩm

Thiết bị đo và điều khiển lưu lượng- GF120XSD Brooks instrument Việt Nam

GF120XSL Brooks instrument Việt nam

Brooks instrument Việt Nam

The Fastest and Most Accurate MFCs

Enhanced with the Speed of EtherCAT® Việt Nam

Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

Hiệu suất hoàn hảo cho các quy trình bán dẫn

Chẩn đoán nhúng tận dụng khả năng thu thập dữ liệu EtherCAT® thời gian thực
Cảm biến lưu lượng cực ổn định (≤ 0,15% độ trôi SP mỗi năm) cho phép độ chính xác điểm đặt thấp hơn chặt chẽ hơn và giảm yêu cầu bảo trì
Cải thiện việc tắt van (≤ 0,15% phạm vi bin) làm giảm rò rỉ van để giảm hiệu ứng wafer đầu tiên
Độ nhạy cảm thoáng qua áp suất mới được tăng cường làm giảm độ nhạy xuyên âm để phân phối dòng chảy ổn định

Tính năng, đặc điểm

Độ ổn định dài hạn bằng 0 <0,15% toàn thang mỗi năm
Thời gian giải quyết: 300 ms - <1 giây
Tốc độ dòng chảy quy mô lên đến 300 slpm
Đường dẫn dòng niêm phong hoàn toàn bằng kim loại: tùy chọn hoàn thiện bề mặt 5 5 inch hoặc 10 inch inch
Cảm biến T-Rise chống ăn mòn Hastelloy® cải thiện độ tái lập của phép đo ở nhiệt độ cao
Khả năng lập trình phạm vi và khí MultiFlo ^TM Một thiết bị, hàng ngàn loại khí và kết hợp phạm vi mà không loại bỏ MFC khỏi dòng khí hoặc ảnh hưởng đến độ chính xác
Hiển thị người dùng thuận tiện và cổng chẩn đoán / dịch vụ độc lập hỗ trợ cài đặt, giám sát và xử lý sự cố thiết bị
Hệ thống phân phối an toàn GF120 (SDS®) là bộ điều khiển lưu lượng khối giảm áp suất thấp tiên tiến của Brooks để phân phối khí hệ thống phân phối an toàn dưới khí quyển (SDS) được sử dụng trong các quy trình Implant và Etch

Lợi ích

Màn biểu diễn hiếm có
- Thời gian phản ứng nhanh cải thiện hiệu quả ứng dụng
Cấu trúc liên kết linh hoạt
- Cấu trúc liên kết mạng vô hạn có thể
Đơn giản và mạnh mẽ
- Cấu hình, chẩn đoán và bảo trì
Giá cả phải chăng
- Cổng Ethernet tiêu chuẩn

Các ứng dụng

Công cụ khắc bán dẫn
Hệ thống lắng đọng hơi hóa học màng mỏng (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
Hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Hệ thống quá trình epiticular

GF100	GĐ 101	GF120	GF120XSD	GF120XSL	Gv 121	G125125	GF126
Khác biệt	Độ tinh khiết cao	Độ tinh khiết cao Tốc độ dòng chảy cao	Độ tinh khiết cực cao Thời gian đáp ứng cực nhanh	Giao hàng gas SDS	Giao hàng gas SDS	Độ tinh khiết cực cao Tốc độ dòng chảy cao	Độ tinh khiết cực cao Phản ứng cực nhanh Không nhạy cảm thoáng qua áp lực	Tốc độ dòng chảy cao
Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn thang)	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm	3 sccm - 55 slm	> 25 sccm - 1 slm	4 - 25 sccm	55 slm - 300 slm	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm
Bề mặt hoàn thiện	10 inch inch Ra	10 inch inch Ra	5 inch inch Ra	5 inch inch Ra	5 inch inch Ra	5 inch inch Ra	5 inch inch Ra	5 inch inch Ra
Độ chính xác	± 1% SP> 20-100% ± 0,20% FS 2-20%	± 1% SP> 35-100% ± 0,35% FS 2-35%	± 1% SP> 20-100% ± 0,20% FS 2-20%	± 1% SP> 35-100% ± 0,35% FS 2-35%	± 1% SP> 35-100% ± 0,35% FS 2-35%	± 1% SP> 35-100% ± 0,35% FS 2-35%	± 1% SP> 20-100% ± 0,20% FS 2-20%	± 1% SP> 35-100% ± 0,35% FS 2-35%
Lặp lại	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP	<± 0,15% SP
Thời gian đáp ứng	Thường đóng <1 giây	Thường đóng <1 giây	Thường đóng 700 ms	Thường đóng <3 giây	Thường đóng <3 giây	Thường đóng <1 giây	Thường đóng 300ms - <700ms	Thường đóng <1 giây
Thời gian đáp ứng	Thường mở <1,5 giây	Thường mở -	Thường mở <1,5 giây	Thường mở -	Thường mở -	Thường mở -	Thường mở <1,5 giây	Thường mở -
Cấu hình đa khí & phạm vi	Tiêu chuẩn MultiFlo ™	Tiêu chuẩn MultiFlo ™	Tiêu chuẩn MultiFlo ™	-	-	Tiêu chuẩn MultiFlo ™	Tiêu chuẩn MultiFlo ™	Tiêu chuẩn MultiFlo ™
Không nhạy cảm thoáng qua áp lực	-	-	-	-	-	-	± 5% SP lên đến 5 psi / giây bấm ngược dòng. mũi nhọn	Khả năng đo áp suất đầu vào
Khả năng chẩn đoán	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động	Đèn báo thức & báo động
Truyền thông kỹ thuật số	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT	EtherCAT