Thiết bị đo và điều chỉnh lưu lượng hơi nước-5850EMH

• Tính toàn vẹn rò rỉ cao (dưới 10-11 Pa.m3 / s (10-10 atm.cc/s) He)
• Phạm vi dòng chảy rộng (0,003 - 100 slpm)
• Thép không gỉ VAR 316L có độ tinh khiết cao
• Không có hạt
• Cổng kiểm tra rò rỉ helium
• Van thường đóng (van thường mở tùy chọn)
• Ghi đè van kích hoạt bằng điện
• Cắt dòng lệnh thấp
• Van van tương thích với chức năng TTL

• Nền tảng sản phẩm ổn định, đã được chứng minh
• Khả năng lưu lượng cao lên tới 100 lpm ( tương đương N ₂ )
• Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
• Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự

• Sản xuất sợi quang - MCVD, OVD, AVD
• Kiểm soát lưu lượng hơi nước 

Thiết bị đo và điều chỉnh lưu lượng hơi nước-5850EMH